依據(jù)GB50073－2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 以及ISO14644 的檢測方法，潔凈室檢測項目各項合格標準如下：
1) 風速或風量的檢測 
（a） 單向流潔凈室：距離高效過濾器 0.3m，間距不大于 0.6 m，不少于5 點，測風速，求平均，算風量。 
（b） 非單向流潔凈室：測風量，算換氣次數(shù)。參照 GB 50243-2016《通風與空調(diào)給出施工及驗收規(guī)范》 
2) 靜壓差的檢測 
（a） 門應(yīng)全部關(guān)閉 
（b） 壓差計靈敏度應(yīng)小于 1 Pa。
3)安裝后過濾器泄漏檢測 
（a）光散射氣浮微粒測定儀的流量應(yīng)大于 1 L/min； 
（b）顆粒度不小于 0.1 μm（0.5 μm）；顆粒濃度大于 3.5×107 pc/m3；距離過濾器表面 2～3 cm；掃描速度 5～20 mm/s。 
（c）對于高效過濾器不大于出廠合格穿透率的 2 倍，對于超高效過濾器
不大于出廠合格穿透率的 3 倍。 
4) 不同等級潔凈室的連通孔洞的風速應(yīng)大于 0.2 m/s。 

5) 潔凈度的檢測 
（a） 光散射氣浮微粒測定儀的流量應(yīng)大于 1 L/min，并具備有效的標定合格證； 
（b） 采樣點離地 0.8m； 
（c） 每個采樣點的每次采樣量按 ISO 14644 的要求； 
（d） 僅有一個采樣點時，至少采樣 3 次。 
（2）GB50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 
本標準的附錄 D 《潔凈室（區(qū)）性能測試和認證》的要點： 
1）風速和風量的檢測 
對于單向潔凈室，應(yīng)離高效過濾器 300 mm。
2）靜壓差的檢測 
檢測靜壓差的時候應(yīng)該關(guān)閉全部門窗。檢測儀器的靈敏度應(yīng)小于 1.0 Pa。應(yīng)由里向外按順序檢測。 
3） 空氣過濾器安裝后的檢漏 
微粒儀的流量應(yīng)大于 1 L/min。應(yīng)在過濾器的上風側(cè)引入不小于 0.1 μm（或0.5μm）的微粒，其濃度應(yīng)大于 3.5×107 pc/m3。微粒儀距離濾器表面 20～30 mm 處等速采樣，并以 5～20 mm/s 速度掃描。 
4） 潔凈度的檢測 
最少采樣點和每次最少采樣量與 ISO 14644 基本相同。5）溫度和濕度的檢測 
檢測點的覆蓋面積不大于 100 m2 。每個房間不少于 2 個檢測點。檢測點應(yīng)取工作高度，距吊頂、墻和地面不少于 300 mm。 
6）噪聲的檢測 
每 100 m2 設(shè)一個檢測點。檢測點距地面 1.1～1.5 m,距墻大于 3m。

7）照度的檢測 

檢測點為工作高度，宜距地面 0.85 m, 每 25 m2 設(shè)一個檢測點。